無塵室工程的標準
發布時間:2023-03-10
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世界各國均有自定規格,但普遍依據美國頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級。分別是、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,、10級、100級無塵室大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或下,密度不大于75顆/立方英尺),在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或下,密度不大于35顆/立方英尺)