世界各國均有自定規格，但普遍依據美國頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，、10級、100級無塵室大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或下，密度不大于75顆/立方英尺)，在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或下，密度不大于35顆/立方英尺)  電子廠無塵車間 電子廠無塵車間 食品無塵車間 食品無塵車間 化妝品無塵車間 電子廠無塵車間 百級層流手術室 食品無塵車間 電子廠無塵車間 化妝品無塵車間